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ある種の結晶には、電圧を加えると伸び、電圧を切ると元に戻る、不思議な性質が備わっています。この「圧電性」を巧みに利用して、「動き」を作り出すデバイスが、圧電アクチュエータです。
圧電アクチュエータには、他のタイプのアクチュエータ(油圧や空気圧、電気式など) には真似のできない、優れた特徴がいくつも備わっています。0.01ミリ秒という素早い応答性。0.01ミクロンの超精密な動き。そして、1平方ミリあたり3キログラムに達する強い力。これらのほとんどは、他のタイプのアクチュエータに
比べて何桁も優る特性です。この特性を生かし、圧電アクチュエータはすでに、半導体製造装置(マスフロー装置)のバルブの精密開閉に広く用いられています。ただし、このデバイスにも弱点は存在します。それは、これを使って動かせる範囲が
0.05ミリメートル程度と、ごく限られていることです。そのため、圧倒的に優れた性能を いくつも備えながら、これまではその応用分野が限られていました。しかし、近年、環境問題への取り組みや、より高度なIT社会の実現に向けて、圧電アクチュエータでなければ実現できない、レベルの高いアプリケーションが次々と見いだされています。圧電アクチュエータの応用は、これからが本番です。
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| ●アクチュエータとは |
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電気や油圧・空気圧に代表される流体などの入力エネルギーを、機械的な出力に変換するもの(動くもの)。
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| ●圧電アクチュエータとは |
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電気の入力エネルギーを変位・力に変換する圧電セラミクスを応用したアクチュエータ。 |
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