特長:NEC トーキン独自の特許技術
 圧電アクチュエータは、圧電性のあるセラミックスを利用して「動き」を作り出すデバイスです。ただし、圧電セラミックスが伸び縮みする量 は極めて小さいので、役に立つ大きさの動きにするために、圧電セラミックスを110ミクロンほどの薄い層にして電極で挟み、それを200〜300層ほど積層しています。
 NEC トーキンの圧電アクチュエータは、電極がセラミックスの層全体に一様に広がる、全面 電極という、非常に特徴的な構造を採用しています。この形は、圧電デバイスの有効性に早くから着目し開発に取り組んできた、当社の特許技術で、他では真似することができません。
 全面電極のメリットは、まず第一に構造がシンプルなこと。そのため作りやすく、寿命が長く、信頼性も高い上に、様々なアプリケーションに応用が可能になります。
 この構造を使えない他社の製品は、作成の工程がどうしても複雑になります。また、セラミックス層に電極のない部分ができるため、そこは伸び縮みすることができません。そのため、繰り返し使用すると割れやすく、信頼性や寿命の点で限界が生じます。また、寸法の小さな圧電アクチュエータや、特殊な形状を作ることも非常に困難です。
 当社の圧電アクチュエータは、全面電極構造であるため、圧電セラミックスと電極の積層体を大きな固まりとして作り、必要なサイズや形に切り分けたり、穴を開けるなどの加工をして、アクチュエータにしています。



 このため、他では真似のできない、わずか0.6ミリ角の非常に小さな素子を作ることも可能です。さらに、円柱形や円筒形、リング型などの形にも加工できるので、組み込み スペースが限られていたり、特殊な形状が要求されるアプリケーションにも幅広く対応することができます。
 さらに、当社の圧電アクチュエータには、金属製の気密封止ケースを採用したモデルも用意されています。
圧電アクチュエータは一般に、薄いセラミックス層と電極が交互に積層した構造をしていますが、電極に電圧が加わり、湿度が存在すると、電極に含まれる銀成分が成長して電極同士がショートしてしまいます。これが起きないよう、圧電アクチュエータは普通 、樹脂コーティングが施されていますが、湿度の高い環境や、長時間の使用など、このショートを完全に防ぐことはできません。
 そこで、バネの性質を持たせた金属ケースに不活性ガスを封入し、樹脂加工された圧電アクチュエータを密閉したのが、気密封止ケース製品です。これによって、外界の湿度は完全にシャットアウトされ、過酷な環境での使用や、さらに高い信頼性と長寿命を保証することが可能になりました。これも、当社独自の特許技術です。