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圧電アクチュエータは、圧電性のあるセラミックスを利用して「動き」を作り出すデバイスです。ただし、圧電セラミックスが伸び縮みする量
は極めて小さいので、役に立つ大きさの動きにするために、圧電セラミックスを110ミクロンほどの薄い層にして電極で挟み、それを200〜300層ほど積層しています。
NEC トーキンの圧電アクチュエータは、電極がセラミックスの層全体に一様に広がる、全面
電極という、非常に特徴的な構造を採用しています。この形は、圧電デバイスの有効性に早くから着目し開発に取り組んできた、当社の特許技術で、他では真似することができません。
全面電極のメリットは、まず第一に構造がシンプルなこと。そのため作りやすく、寿命が長く、信頼性も高い上に、様々なアプリケーションに応用が可能になります。
この構造を使えない他社の製品は、作成の工程がどうしても複雑になります。また、セラミックス層に電極のない部分ができるため、そこは伸び縮みすることができません。そのため、繰り返し使用すると割れやすく、信頼性や寿命の点で限界が生じます。また、寸法の小さな圧電アクチュエータや、特殊な形状を作ることも非常に困難です。
当社の圧電アクチュエータは、全面電極構造であるため、圧電セラミックスと電極の積層体を大きな固まりとして作り、必要なサイズや形に切り分けたり、穴を開けるなどの加工をして、アクチュエータにしています。 |
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